含硅的合金（7%）很難在硫酸體系中進行硬質氧化， 二氧化硅合金中的硅含量高達10% - 13%，高硅的存在，多晶硅容易產生偏析，導致膜生成困難，硬質氧化薄膜的均勻性也不好。
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